Branche · Front-End-Anlagen
Vakuumtaugliche Kupplungen und Antriebskomponenten für Reinraumumgebungen in Wafer-Handling- und Inspektionsanlagen.
Von allen Branchen, die wir beliefern, stellt der Halbleiteranlagenbau die höchsten Reinheitsanforderungen. Partikel im Nanometerbereich können einen Wafer unbrauchbar machen, der mehr wert ist als die gesamte Antriebsbaugruppe. Jedes Teil, das wir in diese Branche liefern, wird entfettet, chemisch vernickelt oder harteloxiert und in reinraumtauglicher Verpackung versendet.
Standard-Oberflächenbehandlung
Chemisch Nickel / Harteloxal
Reinheitsbehandlung
Im Vakuum entfettet, im versiegelten Beutel
Präzision
ISO 1328 Qualität 5
Metallbalgkupplungen
Vakuumtauglich, 10⁻⁶ Pa
Was wir liefern
Für Wafer-Transferkammern im Vakuum, Metallbalg ausgelegt für 10⁻⁶ Pa
Harteloxiertes Aluminium 7075, Bohrung nach Wunsch, versiegelt verpackt
Qualität 5 geschliffen, chemisch vernickelt, konzentrische Encoderaufnahme
Zahnstangen aus nichtrostendem Stahl für XY-Tische unter Atmosphäre
Baureihe WK aus nichtrostendem Stahl, versiegelt verpackt
Wafer-Handling-Roboter brauchen – unter Atmosphäre wie im Vakuumcluster – Antriebskomponenten mit äußerst geringer Partikelabgabe. Wir liefern Metallbalgkupplungen mit guter Vakuumdichtheit, in Lagerqualität geschliffene Wellen mit chemisch vernickelter Oberfläche und harteloxierte Zahnriemenscheiben aus Aluminium für Tische unter Atmosphäre.
Für Inspektionsanlagen wie Lithografietische und Wafer-Messtechnik liefern wir geschliffene Zahnräder der Qualität 5 mit einer Konzentrizität von Bohrung zu Teilkreis von ≤ 0,005 mm, damit der Encoder-Regelkreis möglichst kein mechanisches Rauschen aufnimmt.
Standardmäßig entfetten wir im Vakuum, versiegeln in antistatischen Beuteln und kennzeichnen jedes Los für die Wareneingangsprüfung des Kunden. Wir sind kein Reinraumwerk der Klasse 1, liefern aber Teile, die die Vorbedingungen für die anschließende Reinraumabnahme beim Kunden erfüllen.
Produkte, die diese Branche typischerweise bezieht
Jede Produktkarte führt zur Detailseite mit vollständiger Leistungsübersicht, Werkstoffen und Normen.
Geschliffene Zahnräder aus SUS440C mit partikelarmer Oberfläche
Produkt ansehen →Vakuumtauglich, ausgelegt für 10⁻⁶ Pa
Produkt ansehen →Aluminium 7075 mit Harteloxal (Type III), versiegelt verpackt
Produkt ansehen →Für XY-Tischantriebe unter Atmosphäre, SUS304 / 420
Produkt ansehen →Baureihe WK, partikelarm und versiegelt verpackt
Produkt ansehen →Technische Anforderungen
Im Vakuum entfettet, im antistatischen Beutel versiegelt, mit Loskennzeichnung
Nichtrostender Stahl, harteloxiertes Aluminium, chemisch Nickel – keine lackierten oder geölten Oberflächen
Geschweißte Metallbalgkupplungen für 10⁻⁶ Pa, für Vakuum-Cluster-Handlinganlagen
Konzentrizität von Bohrung zu Teilkreis ≤ 0,005 mm – für ein jitterarmes Rückführsignal
Oberflächenzustand dokumentiert; auf Wunsch Verpackung nach ISO 14644
Kunden
Nachstehend eine Auswahl international bekannter Kunden. Die vollständige Liste liegt dort, wo sie hingehört: in unseren Versandunterlagen.
Fallbeispiele
10⁻⁶ Pa über 8.000 Stunden
Geschweißte Metallbalgkupplung aus SUS304 für eine chinesische Wafer-Cluster-Handlinganlage. Vor dem Versand hausintern im Vakuum geprüft und versiegelt verpackt – im Dauerlauf über 8.000 Stunden ohne Leckage.
Encoder-Rauschgrenze < 0,5 Winkelsekunden
Zahnwelle in Qualität 5 geschliffen und chemisch vernickelt, eingesetzt in einem Drehtisch für die Waferinspektion. Nach der Encoder-Integration maß der Kunde ein mechanisches Rauschen von unter einer Winkelsekunde.
FAQ
Nein. Wolfer ist kein Reinraumbetrieb der Klasse 1, sondern ein nach ISO 9001 zertifizierter Hersteller. Wir liefern Teile jedoch so vorbereitet, dass sie die anschließende Reinraum-Eingangsprüfung beim Kunden bestehen: vakuumentfettet, mit chemisch Nickel oder Harteloxal beschichtet und in versiegelten Antistatikbeuteln verpackt.
Ja. Wir liefern geschweißte Balgkupplungen aus SUS304 oder SUS316L, vor dem Versand im Haus bis 10⁻⁶ Pa geprüft und einzeln versiegelt verpackt.
Die Standardverpackung besteht aus Vakuumentfettung und versiegeltem Antistatikbeutel und genügt der Eingangsprüfung der meisten Halbleiter-OEM. Eine ISO-14644-konforme Verpackung mit festgelegten Handschuh- und Wischprozeduren bieten wir auf Anfrage an; die Lieferzeit verlängert sich dadurch um etwa eine Woche.
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