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Industrie · Équipements front-end

Équipements semi-conducteurs

Accouplements compatibles vide et composants de transmission pour environnement propre, destinés aux équipements de transfert et d'inspection de wafers.

Le semi-conducteur est, de tous nos secteurs, celui qui exige la plus grande propreté : une contamination particulaire à l'échelle nanométrique peut ruiner un wafer valant plus que l'ensemble de la transmission. Chaque pièce livrée à ce secteur est dégraissée, traitée par nickelage chimique ou anodisation dure, et emballée pour le transfert en salle propre.

Dernière mise à jour Relu par Luo Genwen, Responsable de l'usine de production

Équipements pour semi-conducteurs — composants de transmission de précision Wolfer pour la manutention de wafers et les machines de salle blanche

Ce que nous expédions

Les pièces que nous fabriquons pour les équipements semi-conducteurs.

Accouplements à soufflet compatibles vide

Pour le transfert de plaquettes en chambre sous vide — soufflets classés 10⁻⁶ Pa

Poulies crantées de transfert de wafers

Aluminium 7075 à anodisation dure, alésage sur mesure, emballage scellé

Arbres-pignons pour platines d'inspection

Rectification classe 5, nickelage chimique, concentricité contrôlée de l'alésage codeur

Crémaillères propres pour salle blanche

Crémaillères inox pour platines XY à pression atmosphérique

Frettes de serrage sans émission de particules

Série WK en acier inoxydable, emballage scellé

Les robots de transfert de wafers — en atmosphère comme en cluster sous vide — exigent des transmissions à très faible émission de particules. Nous fournissons des accouplements à soufflet à bonne tenue au vide, des arbres rectifiés de qualité roulement avec nickelage chimique, et des poulies crantées en aluminium à anodisation dure pour les platines en atmosphère.

Pour les équipements d'inspection — platines de lithographie, métrologie de wafers —, nous livrons des engrenages rectifiés classe 5 avec une concentricité alésage-primitif ≤ 0,005 mm : la boucle de retour codeur reçoit le moins de bruit mécanique possible.

Emballage standard : dégraissage sous vide, sachet antistatique scellé et numéro de lot pour votre contrôle de réception. Nous ne sommes pas une salle blanche de classe 1, mais nos pièces satisfont les prérequis d'acceptation en salle blanche chez le client.

Les produits que ce secteur achète

Avec un lien vers les caractéristiques complètes.

Chaque carte ouvre la page produit détaillée : capacités complètes, matières et normes.

Exigences d'ingénierie

Ce qui distingue les pièces pour le semi-conducteur.

Propreté

Dégraissage sous vide, scellé en sachet antistatique, numéro de lot

Matériaux à faible dégazage

Inox, aluminium à anodisation dure, nickelage chimique — aucune surface peinte ou huilée

Soufflets qualifiés pour le vide

Accouplements à soufflet soudé 10⁻⁶ Pa pour équipements de transfert sous vide

Concentricité de qualité encodeur

Concentricité alésage–primitif ≤ 0,005 mm, pour un retour sans gigue

Rapport sur les particules

Finition de surface documentée ; emballage compatible ISO 14644 facultatif

Clients

Nos clients du semi-conducteur

Une sélection de clients de renom international — la liste complète est là où elle compte : dans nos dossiers d'expédition.

Hitachi
Huawei (HiSilicon)

Études de cas

Résultats représentatifs de projets

10⁻⁶ Pa pendant 8 000 heures

Bras de transfert de wafers sous vide — accouplement à soufflet

Accouplement à soufflet en SUS304 soudé, sur mesure pour un équipement national de transfert de wafers en cluster. Test de vide en interne et emballage scellé avant expédition ; 8 000 heures d'endurance sans fuite.

Bruit codeur < 0,5 seconde d'arc

Arbres-pignons pour platines d'inspection

Arbre-pignon rectifié classe 5, nickelage chimique, monté sur une platine rotative d'inspection de wafers. Après intégration du codeur, le client a mesuré un bruit mécanique inférieur à la seconde d'arc.

Questions fréquentes

Questions fréquentes des acheteurs en semi-conducteur.

Êtes-vous un fournisseur certifié salle blanche ?

Non — Wolfer n'est pas une usine en salle blanche de classe 1. Nous sommes un fabricant certifié ISO 9001 qui livre des pièces préqualifiées pour votre réception en salle blanche : dégraissage sous vide, nickelage chimique ou anodisation dure, conditionnement scellé en sachet antistatique.

Fournissez-vous des accouplements à soufflet pour le vide ?

Oui. Soufflets soudés en SUS304 ou SUS316L, testés en interne à 10⁻⁶ Pa avant expédition, emballés scellés individuellement.

Offrez-vous un emballage ISO 14644 ?

L'emballage standard — dégraissage sous vide + sachet antistatique scellé — suffit au contrôle de réception de la plupart des OEM du semi-conducteur. Un emballage compatible ISO 14644 (procédures spécifiques de gants et d'essuyage) est disponible sur demande, moyennant environ une semaine de délai supplémentaire.

Industries connexes

Les autres secteurs que nous servons.

Vous concevez des équipements semi-conducteurs ?

Devis 24 heures · examen technique dans un délai d'un jour ouvrable · ≤ 30 jours pour expédier après approbation.

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