Industrie · Avant-garde
accouplements compatibles avec les vide et composants de transmission propres à l'environnement pour le matériel de manutention et d'inspection des wafers.
Les particules mesurées en nanomètres peuvent ruiner une plaque d'une valeur supérieure à l'ensemble de la transmission. Chaque pièce que nous expédions à cette verticale est dégraissée, électroless-nickel ou anodinisée dure, et emballée dans un emballage propre et convivial.
Finition standard
Ni sans électrons / anodisation dure
Propreté
Sac sous vide, scellé
Précision
ISO 1328 Classe 5
accouplements de soufflets
Compatible avec les aspirateurs (10−6 Pa)
Ce que nous expédions
Pour transfert de plaquettes à écailles sous vide — 10 à 6 soufflets à écailles
Emballages thermo-anodisés AL7075, sur mesure, scellés
Classe 5 encastrement, encodeur-bore concentrique, sans électrofilet
Porte-broches en acier inoxydable pour les étages XY atmosphériques
Série WK en acier inoxydable, emballage scellé
Les robots de manipulation de plaquettes — atmosphériques ou sous vide — exigent une transmission à très faible émission de particules. Nous fournissons des accouplements à soufflet étanches au vide, des arbres rectifiés de qualité roulement avec nickelage chimique et des engrenages inox adaptés aux salles blanches.
Pour les équipements d'inspection (étapes de lithographie, métrologie d'inspection par wafer), nous expédions des engins de classe 5 avec une concentricité d'alésage ≤ 0,005 mm, de sorte que la boucle de retour d'encodeur ne voit aucun bruit mécanique.
L'emballage standard est dégraissé sous vide, scellé dans des sacs antistatiques, codé par lot pour le QC entrant. Nous ne sommes pas une installation de classe 1, mais nous expédions des pièces préqualifiées pour l'acceptation en aval de la salle blanche.
Produits ce acheter vertical
Chaque carte ouvre la page de détail du produit avec la matrice de pleine capacité, les matériaux et les normes.
Engrenages rectifiés SUS440C avec surface anti-particules
Afficher le produit →Aspirateur compatible, 10−6 Pa
Afficher le produit →AL7075 avec anodize de type III, emballage scellé
Afficher le produit →Les entraînements en scène XY atmosphérique en SUS304 / 420
Afficher le produit →Série WK sans particules, emballage scellé
Afficher le produit →Ingénierie
Aspirateur dégraissé, scellé dans un sac antistatique, codé par lot
SUS, aluminium anodisé dur, Ni sans électrodes — pas de surfaces peintes / huilées
10 à 6 accouplements soudés pour soufflets pour mandrins à groupe sous vide
Diamètre de brouillage ≤ 0,005 mm au pas pour une faible rétroaction
Finition de surface documentée; emballage compatible ISO 14644 facultatif
Clients
Une sélection de noms internationalement connus — la liste complète vit là où elle compte, dans nos dossiers d'expédition.
Études de cas
10⁻⁶ Pa pendant 8 000 heures
SUS304 soudé accouplements soufflets pour un guidon domestique de groupe de wafer. Aspiré testé en interne puis expédié scellé. Aucune fuite à 8 000 heures d'endurance.
Encodeur de bruit<0,5 arc-sec
Arbre de transmission au sol de classe 5 avec finition en nickel électroless, monté sur un étage de rotation de l'inspection par wafer. L'intégration de l'encodeur du client a montré un bruit de sous-arc-sec.
FAQ
Non — Wolfer n'est pas une installation de classe 1. Nous sommes un fabricant ISO 9001 qui expédie des pièces préqualifiées pour l'acceptation en aval de la salle de nettoyage: surface dégraissée sous vide, non nickel électro-électrique ou anodisée dure, scellée dans un sac antistatique.
Oui. Soudés SUS304 ou SUS316L soufflets, testés sous vide à 10-6 Pa en interne avant expédition, scellés individuellement.
L'emballage standard est un sac antistatique scellé et dégraissé sous vide, suffisamment propre pour la plupart des produits semi-conducteurs-OEM entrants QC. L'emballage compatible ISO 14644 (procédures spécifiques de gant/essuie-gants) est disponible sur demande, ajoute ~1 semaine au délai.
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