10⁻⁶ Pa pendant 8 000 heures
Bras de transfert de wafers sous vide — accouplement à soufflet
Accouplement à soufflet en SUS304 soudé, sur mesure pour un équipement national de transfert de wafers en cluster. Test de vide en interne et emballage scellé avant expédition ; 8 000 heures d'endurance sans fuite.