10⁻⁶8,000 hours 用 Pa
真空クラスター移送アーム - ベローズカップリング
溶接ベローズカップリング（SUS304）は、国内のウェハークラスターハンドラー用です。社内で真空テストを実施後、密封状態で出荷されます。8,000時間の耐久性試験で漏れはありません。
業界・フロントエンド
ウェーハハンドリング装置および検査装置用の真空対応カップリングおよびクリーン環境対応伝送部品。
半導体製造装置は、当社がサービスを提供する業界の中で最も厳しい清浄度要件が課せられています。ナノメートル単位の微粒子でも、伝送アセンブリ全体の価値を上回るウェハーを台無しにしてしまう可能性があります。この業界向けに出荷するすべての部品は、脱脂処理後、無電解ニッケルめっきまたは硬質陽極酸化処理を施し、クリーンルームに適したパッケージに梱包されています。
標準仕上げ
無電解ニッケル／硬質アルマイト処理
清潔さ
真空脱脂済み密封袋
精密
ISO 1328クラス5
ベローズカップリング
真空対応 (10⁻⁶ Pa)
当社が発送するもの
真空クラスターウェハ搬送用 —10⁻⁶ Pa定格ベローズ
硬質アルマイト処理AL7075、カスタムボア、密封パッケージ
クラス5 研削、無電解ニッケル、エンコーダボア同心円
大気ステージ用ステンレス製ラックXY
ステンレスWK-シリーズ、密封包装
ウェハ搬送ロボット（大気圧式および真空式クラスターの両方）には、極めて低粒子性の伝動機構が必要です。当社では、真空状態を維持するベローズカップリング、無電解ニッケルめっき仕上げのボールベアリンググレードの研削シャフト、および大気圧ステージ用の硬質アルマイト処理アルミニウム製タイミングベルトプーリを提供しています。
検査装置（リソグラフィステージ、ウェーハ検査計測）向けに、エンコーダのフィードバックループに機械的なノイズが全く発生しないように、ボア同心度 0.005 mm 以下のクラス 5 研削歯車を出荷しています。
標準パッケージは真空脱脂処理後、帯電防止袋に密封され、入荷ロット番号QCが付与されます。当社はクラス 1 クリーンルーム施設ではありませんが、下流工程のクリーンルームでの受け入れが事前に認定された部品を出荷します。
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エンジニアリング要件
真空脱脂済み、帯電防止袋に密封、ロットコード付き
SUS、硬質アルマイト処理アルミニウム、無電解ニッケルメッキ - 塗装面や油面なし
10⁻⁶ 真空クラスターハンドラー用溶接ベローズカップリング
ボア径≦0.005 mmピッチ径で低ジッターフィードバックを実現
表面仕上げは文書化済み。オプションでISO 14644-互換パッケージも利用可能。
お客様
国際的に有名な名前の一部です。完全なリストは、重要な場所、つまり当社の出荷記録にあります。
事例研究
10⁻⁶8,000 hours 用 Pa
溶接ベローズカップリング（SUS304）は、国内のウェハークラスターハンドラー用です。社内で真空テストを実施後、密封状態で出荷されます。8,000時間の耐久性試験で漏れはありません。
エンコーダのノイズフロア<0.5 アーク秒
クラス 5 研削・無電解ニッケルめっき仕上げのギヤシャフトを、ウェハ検査用回転ステージに搭載しました。お客様のエンコーダ統合により、サブアーク秒レベルのノイズが確認されました。
よくある質問
いいえ。Wolferはクラス 1 クリーンルーム施設ではありません。当社はISO 9001メーカーであり、真空脱脂、無電解ニッケルめっきまたは硬質アルマイト処理を施し、帯電防止袋に密封した、下流のクリーンルームでの受け入れが事前に認定された部品を出荷しています。
はい。溶接されたSUS304またはSUS316Lベローズは、出荷前に社内で10⁻⁶ Paまで真空テストされ、個別に密封されています。
標準パッケージは真空脱脂＋密封帯電防止袋で、ほとんどの半導体OEM入荷QCに十分清潔です。ISO 14644-対応パッケージ（特定の手袋/拭き取り手順）はご要望に応じてご用意できますが、納期が約1 1 週間延長されます。
24 時間以内にお見積もり · 1 営業日以内に技術レビュー · 図面承認後 30 日以内に出荷。