10⁻⁶ Pa・8,000 時間
真空クラスター移送アーム - ベローズカップリング
溶接ベローズカップリング（SUS304）は、国内のウェハークラスターハンドラー用です。社内で真空テストを実施後、密封状態で出荷されます。8,000 時間の耐久性試験で漏れはありません。
業界・フロントエンド
ウェーハハンドリング装置および検査装置用の真空対応カップリングおよびクリーン環境対応伝動部品。
半導体製造装置は、当社がサービスを提供する業界の中で最も厳しい清浄度要件が課せられています。ナノメートル単位の微粒子でも、伝動アセンブリ全体の価値を上回るウェハーを台無しにしてしまう可能性があります。この業界向けに出荷するすべての部品は、脱脂処理後、無電解ニッケルめっきまたは硬質陽極酸化処理を施し、クリーンルームに適したパッケージに梱包されています。
最終更新 監修：羅根文（生産工場責任者）
標準仕上げ
無電解ニッケル／硬質アルマイト処理
清潔さ
真空脱脂済み密封袋
精密
ISO 1328 クラス 5
ベローズカップリング
真空対応 (10⁻⁶ Pa)
当社が発送するもの
真空クラスターウェハ搬送用 — 10⁻⁶ Pa 定格ベローズ
硬質アルマイト処理 AL7075、カスタムボア、密封パッケージ
クラス 5 研削、無電解ニッケル、エンコーダボア同心円
大気ステージ用ステンレス製ラック XY
ステンレス WK-シリーズ、密封包装
ウェハ搬送ロボットは、大気中でも真空クラスタでも、発塵の極めて少ない伝動部品を必要とします。Wolfer では、真空保持性の高いベローズ軸継手、無電解ニッケルめっきを施した軸受級の研削シャフト、大気側ステージ用の硬質アルマイトアルミ製タイミングプーリを供給しています。
リソグラフィステージやウェハ検査計測などの検査装置向けには、クラス 5 の研削歯車を供給します。穴とピッチ円の同心度を 0.005 mm 以下に抑え、エンコーダのフィードバックループに機械的なノイズを持ち込みません。
標準パッケージは真空脱脂処理後、帯電防止袋に密封され、入荷ロット番号 QC が付与されます。当社はクラス 1 クリーンルーム施設ではありませんが、下流工程のクリーンルームでの受け入れが事前に認定された部品を出荷します。
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各カードから製品詳細ページに進むと、対応範囲・材質・規格をすべてご確認いただけます。
エンジニアリング要件
真空脱脂済み、帯電防止袋に密封、ロットコード付き
SUS、硬質アルマイト処理アルミニウム、無電解ニッケルメッキ - 塗装面や油面なし
10⁻⁶ 真空クラスターハンドラー用溶接ベローズカップリング
ボア径≦0.005 mm ピッチ径で低ジッターフィードバックを実現
表面仕上げは文書化済み。オプションで ISO 14644-互換パッケージも利用可能。
お客様
国際的に知られるお客様の一部をご紹介します。完全な記録は当社の出荷アーカイブに保存されています。
事例研究
10⁻⁶ Pa・8,000 時間
溶接ベローズカップリング（SUS304）は、国内のウェハークラスターハンドラー用です。社内で真空テストを実施後、密封状態で出荷されます。8,000 時間の耐久性試験で漏れはありません。
エンコーダのノイズフロア<0.5 アーク秒
クラス 5 研削・無電解ニッケルめっき仕上げのギヤシャフトを、ウェハ検査用回転ステージに搭載しました。お客様のエンコーダ統合により、サブアーク秒レベルのノイズが確認されました。
よくある質問
いいえ。Wolfer はクラス 1 クリーンルーム工場ではありません。ISO 9001 のメーカーとして、お客様側のクリーンルーム受け入れ要件をあらかじめ満たした状態で出荷します。真空脱脂、無電解ニッケルめっきまたは硬質アルマイト処理、静電気防止袋での密封まで対応します。
はい。溶接された SUS304 または SUS316L ベローズは、出荷前に社内で 10⁻⁶ Pa まで真空テストされ、個別に密封されています。
標準パッケージは真空脱脂＋密封帯電防止袋で、多くの半導体 OEM の受入検査要件を満たします。ISO 14644 対応パッケージ（特定の手袋・拭き取り手順など）はご要望に応じて対応可能で、通常、納期が約 1 週間延びます。
24 時間以内にお見積もり · 1 営業日以内に技術レビュー · 図面承認後 30 日以内に出荷。