10⁻⁶ Pa, 8,000시간
진공 클러스터 이송 로봇 암, 벨로우즈 커플링
국산 웨이퍼 클러스터 이송 설비를 위한 용접형 SUS304 벨로우즈 커플링입니다. 출하 전에 사내 진공 시험을 마치고 밀봉 포장했으며, 8,000시간 내구 운전에서 누설이 없었습니다.
산업 · 전공정 장비
웨이퍼 이송·검사 설비를 위한 진공 대응 커플링과 청정 환경용 동력전달 부품.
반도체 장비는 저희가 서비스하는 산업 가운데 청정도 요구가 가장 높은 분야입니다. 나노미터 수준의 파티클 오염만으로도 동력전달 조립체 전체보다 비싼 웨이퍼 한 장을 못 쓰게 만들 수 있습니다. 이 분야에 납품하는 모든 부품은 탈지 세정을 거치고 무전해 니켈 도금 또는 경질 양극산화로 표면 처리한 뒤, 클린룸 반입에 적합한 방식으로 포장합니다.
표준 표면 처리
무전해 니켈 도금 / 경질 양극산화
청정도 관리
진공 탈지, 밀봉 봉투 포장
정밀도
ISO 1328 5급 정밀도
벨로우즈 커플링
진공 대응, 10⁻⁶ Pa
저희가 납품하는 것
진공 웨이퍼 이송 챔버용, 벨로우즈 진공 등급 10⁻⁶ Pa
경질 양극산화 7075 알루미늄 합금, 맞춤 내경, 밀봉 포장
5급 정밀도 연삭, 무전해 니켈 도금, 엔코더 구멍 동심도 관리
대기 환경 XY 스테이지용 스테인리스 랙
스테인리스 WK 시리즈, 밀봉 포장
웨이퍼 이송 로봇은 대기 환경이든 진공 클러스터 환경이든 파티클 오염이 극히 적은 동력전달 부품을 필요로 합니다. 진공 유지 성능이 좋은 벨로우즈 커플링, 베어링 등급으로 연삭하고 무전해 니켈 도금을 적용한 축 부품, 대기 스테이지용 경질 양극산화 알루미늄 타이밍 풀리를 공급합니다.
리소그래피 스테이지, 웨이퍼 검사 계측 장비 같은 검사 설비에는 5급 정밀도 연삭 기어를 공급하며, 내경과 피치원의 동심도를 0.005 mm 이내로 관리해 엔코더 피드백 루프에 기계적 노이즈가 최대한 유입되지 않도록 합니다.
표준 포장 절차는 진공 탈지, 정전기 방지 봉투 밀봉, 로트 코드 부여이며 고객 수입 검사에 편리합니다. 저희는 Class-1 클린룸 공장은 아니지만, 납품하는 부품은 고객사의 후속 클린룸 반입 검사를 통과할 수 있는 수준으로 준비합니다.
이 분야에서 자주 구매하는 제품
각 제품 카드를 누르면 상세 페이지로 이동해 전체 대응 범위, 재료, 규격을 확인할 수 있습니다.
엔지니어링 요구사항
진공 탈지, 정전기 방지 봉투 밀봉 포장, 로트 코드 부여
스테인리스, 경질 양극산화 알루미늄, 무전해 니켈 도금을 사용하며 도장면이나 유막면은 쓰지 않습니다
진공 클러스터 이송 설비용 10⁻⁶ Pa 용접형 벨로우즈 커플링
피드백 지터를 줄이기 위해 내경과 피치원의 동심도를 0.005 mm 이내로 관리
표면 상태를 기록하며 ISO 14644 대응 포장 절차도 선택할 수 있습니다
고객
아래는 일부 해외 유수 고객입니다. 전체 기록은 당사 출하 자료에 보관되어 있습니다.
사례
10⁻⁶ Pa, 8,000시간
국산 웨이퍼 클러스터 이송 설비를 위한 용접형 SUS304 벨로우즈 커플링입니다. 출하 전에 사내 진공 시험을 마치고 밀봉 포장했으며, 8,000시간 내구 운전에서 누설이 없었습니다.
엔코더 노이즈 플로어 < 0.5 arc-sec
웨이퍼 검사 회전 스테이지에 쓰이는 5급 정밀도 연삭 기어 샤프트로 표면은 무전해 니켈 도금했습니다. 고객이 엔코더를 통합한 뒤 기계적 노이즈가 1 arc-sec 미만으로 측정되었습니다.
자주 묻는 질문
아닙니다. Wolfer는 Class-1 클린룸 공장이 아니라 ISO 9001 인증 제조사입니다. 다만 고객사의 후속 클린룸 반입 검사를 통과할 수 있도록 진공 탈지, 무전해 니켈 도금 또는 경질 양극산화 표면 처리, 밀봉 정전기 방지 포장을 거쳐 납품합니다.
가능합니다. 용접형 SUS304 또는 SUS316L 벨로우즈 커플링을 공급하며, 출하 전 자사에서 10⁻⁶ Pa까지 진공 시험을 거쳐 개별 밀봉 포장합니다.
표준 포장은 진공 탈지 후 밀봉 정전기 방지 봉투이며, 대부분의 반도체 OEM 수입 검사 요구를 충족합니다. 특정 장갑·와이핑 절차를 포함한 ISO 14644 대응 포장은 요청 시 제공하며 보통 납기가 1주 정도 늘어납니다.
24시간 견적 · 1영업일 이내 엔지니어링 검토 · 도면 확정 후 30일 이내 납품.