Industria · Front-end
Acoplamientos compatibles con el vacío y componentes de transmisión en entornos limpios para el manejo de obleas y el equipo de inspección.
Los equipos de capital semiconductores tienen los requisitos de limpieza más estrictos de cualquier industria a la que atendemos. Las partículas medidas en nanómetros pueden arruinar una oblea que vale más que todo el conjunto de transmisión. Cada parte que enviamos a esta vertical está desengrasada, cubierta de níquel electro-sin nickel o anodizada dura, y empaquetada en un embalaje limpio y amigable.
Acabado estándar
Ni sin electrodos / anodizado duro
Limpieza
Bolsa sellada desengrasada al vacío
Precisión
ISO 1328 Clase 5
Acoplamientos de fuelle
Compatible con vacío (10-6 Pa)
Lo que enviamos
Para la transferencia de obleas de clústers al vacío — fuelles nominales 10-6 Pa
AL7075, ánima a medida, embalaje sellado
Clase 5 ground, electro-níquel, ánima de encoder concéntrica
Estanterías de acero inoxidable para etapas XY atmosféricas
Serie WK-inoxidable, embalaje sellado
Los robots de manipulación de obleas, tanto atmosféricos como de vacío, necesitan una transmisión de partículas extremadamente baja. Enviamos acoplamientos de fuelle que contienen ejes de tierra de vacío, de bolas con acabado electro-níquel y poleas de banda de sincronización de aluminio anodizado duro para etapas atmosféricas.
Para equipos de inspección (etapas de litografía, metrología de inspección de obleas), enviamos engranajes de clase 5 ground con concentricidad de orificio ≤ 0.005 mm para que el bucle de retroalimentación del codificador vea cero ruido mecánico.
El embalaje estándar está desengrasado al vacío, sellado en bolsas antiestáticas, codificado por lote para QC entrante. No somos una instalación de sala limpia Class-1, pero enviamos piezas pre-calificadas para la aceptación de la sala limpia aguas abajo.
Productos que esta compra vertical
Cada tarjeta abre la página de detalle del producto con matriz de capacidad completa, materiales y estándares.
Engranajes de tierra SUS440C con superficie antipartículas
Ver producto →Compatible con vacío, 10-6 Pa nominal
Ver producto →AL7075 con embalaje anodizado tipo III sellado
Ver producto →Unidades de etapa XY atmosféricas en SUS304 / 420
Ver producto →Serie WK sin partículas, empaquetado sellado
Ver producto →Necesidades de ingeniería
Desengrasado al vacío, sellado en bolsa antiestática, codificado por lotes
SUS, aluminio duro anodizado, sin electro-sin Ni — sin superficies pintadas / engrasadas
Enganches de fuelle soldados 10-6 Pa para manipuladores de grupos de vacío
Bore ≤ 0.005 mm al diámetro de pitch para retroalimentación de bajo jitter
Acabado de superficie documentado; embalaje ISO 14644-compatible opcional
Clientes
Una selección de nombres internacionalmente conocidos — la lista completa vive donde importa, en nuestros registros de envío.
Estudios de casos
10-6 Pa para 8,000 hours
Enganche de fuelle SUS304 soldado para un controlador de obleas-cluster doméstico. Prueba de vacío en la casa y luego enviado sellado. No hay fugas en la resistencia 8,000-hora.
Suelo de ruido de codificador<0.5 arc-sec
Clase 5 g Eje de engranaje redondo con acabado electro-níquel, montado en una etapa de rotación de inspección de obleas. La integración de codificador del cliente mostró ruido sub-arc-sec.
Preguntas frecuentes
No — Wolfer no es una instalación de sala limpia Class-1. Somos un fabricante ISO 9001 que envía piezas pre-calificadas para la aceptación de la sala limpia aguas abajo: desengrasado al vacío, de níquel electro-inoxidable o superficie anodizada dura, sellado en bolsa antiestática.
Sí. Fuelles SUS304 o SUS316L soldado, probados al vacío a 10-6 Pa en la casa antes del envío, sellados individualmente.
El embalaje estándar está desengrasado al vacío + bolsa antiestática sellada — suficientemente limpia para la mayoría de los semiconductores-OEM QC entrante. El embalaje ISO 14644-compatible (Guante específico / procedimientos de limpieza) está disponible bajo petición, agrega ~1 week para el tiempo de entrega.
Industrias conexas
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